Alat ukur presisi adalah alat yang dirancang untuk mengukur dimensi dengan tingkat akurasi yang tinggi. Contoh alat ukur presisi termasuk mikrometer, kaliper, dial indikator, dan coordinate measuring machine (CMM). Jangka bengkok, meskipun berguna untuk mentransfer dimensi, umumnya tidak dianggap sebagai alat ukur presisi dalam arti sebenarnya karena kurangnya skala pengukuran yang akurat.